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中南大学旋转PECVD

文章来源:bbin真人游戏 发布时间:2020-11-20  浏览次数:64

中南大学程老师为了处理碳酸铈材料,在我公司定制非标准旋转PECVD,设备组装完毕后,进行空载试机,为老师及学生讲解设备功能及使用方法,测试各项功能均正:蠼械谝淮问笛。

装载大约25克碳酸铈,由于原料含有较大的水分,开始抽真空明显感觉抽真空速率及其缓慢,真空泵运行将近一个小时,才能抽至100pa左右,在未通氧气的情况下,一但射频开启,真空度会迅速升高,且炉管内部辉光为暗淡的紫色,且启辉不易稳定,需要较长的时间,通入氧气后会在炉管右端首先反应比较激烈,会出现爆闪的红光,随着反应过程的推进,辉光会逐渐稳定且向炉管左侧蔓延,直至充满整个炉管,且辉光颜色会逐渐由暗紫色变为淡紫色最终转为淡粉色,此后颜色就不再发生变化,真空度也会维持在一个很低的水平,一般在20pa左右,反应完成后物料颜色由之前的纯白色变为米黄色


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